电子显微镜，简称电镜，是根据电子光学原理，以电子束为照明源，通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。近年来，电镜的研究和制造有了很大的发展：一方面，电镜的分辨率不断提高，通过电镜，人们已经能直接观察到原子像;另一方面，除透射电镜外，还发展了多种电镜，如扫描电镜、分析电镜等。那么电子显微镜分为哪几种呢？下面深视光谷小编来给大家介绍。

　　电子显微镜分为哪几种：

　　1、扫描电子显微镜

　　扫描电镜的应用较为普遍，扫描电子显微镜原理是：通过光栅扫描技术来产生标本的放大图像。它引导聚焦的电子束穿过样品的矩形区域，当电子束通过时会产生能量损失。该能量会被转换成热、光、二次电子等能量同时反向散射电子。此时通过软件系统进行翻译转换后得到清晰的标本图像信息。从成像原理分析，扫描电子显微镜的分辨率会比透射电子显微镜的分辨率稍差。但它的优势在于可以利用表面处理，创建大样本的图像，尺寸可达几厘米，并且具有较大的景深。因此，来自 SEM 的图像可以较好地表达样品的真实形状。 

　　2、透射电子显微镜

　　透射电子显微镜是电子显微镜的原始类型，它的主要原理是将高压电子束引导至样品以照亮样品并产生样品的放大图像。由于透射电镜具有原位观察、高分辨显像等功能，适宜观察光学显微镜观察不到的细微结构。比如：细胞、组织分析、晶体结构等。

　　透射电镜显微成像原理是：通过钨丝电极的阴极发射电子束，再用阳极加速电子束，当电子束穿过标本时，它会发生散射，并提供标本微观结构的图像，可以通过显微镜的物镜观察到。其中的静电和电磁透镜均有助于电子束的聚焦。

　　可以通过将图像投影到荧光硫化锌涂层屏幕上来检查空间变化。可用于记录图像的另一种方法是将照相胶片放入电子束中，电子束将记录图像。也可以使用数码相机在计算机屏幕上实时显示图像。球面像差传统上限制了透射电子显微镜的分辨率。然而，近些年来的技术改进，可以通过球面像差的硬件校正来提高分辨率。因此，现在可以生成分辨率低于 0.5 埃、放大倍率超过 5000 万倍的图像。

　　3、反射电子显微镜

　　反射电子显微镜涉及检测从被检查的样品反射的弹性散射电子束。反射高能电子衍射 (RHEED) 和反射高能损失光谱 (RHELS) 技术通常用于此类显微镜。由于电子显微镜的原理及用途也各不相同，所以应用领域也不同。比如：TEM透射电镜广泛应用于科研实验室主要用于来研究细菌、组织切片和其他微生物。

　　另外，SEM 还经常用于材料科学研究的测试和故障分析，检查高温下的超导体、合金强度和纳米管，最终影响电子产品对航空航天业的影响。扫描电子显微镜还常用于法医调查。比如：通过 SEM 所提供的放大倍数，来分析证据类型的来源，从而得出与法律目的相关的调查结论。

　　以上内容就是对电子显微镜分为哪几种的介绍了，电子显微镜是20世纪的重大科学技术发明，是利用电子与物质作用所产生之讯号监定微区域晶体结构，微细组织，化学成份，化学键结和电子分布情况的电子光学装置。与光学显微镜相比电子显微镜用电子束代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。通常情况下，电子显微镜放大倍数比光学显微镜高得多。