随着自动化测量技术的发展，测量显微镜在传统的基础上有了较大的改变，主要表现在两个方面：一是成像瞄准系统已发展为使用CCD(Charge Coupled Device)成像瞄准技术。所成的像通过数据线传送到计算机并显示出来，这种成像方式比原来在目镜视场中所形成的图像更加直观清晰，大大降低了对线瞄准误差，那么测量显微镜测量原理是怎样的呢?下面深视光谷小编来给大家介绍。

　　测量显微镜测量原理：

　　与STM类似，在AFM中，使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时，针尖尖端的原子与样品表面的原子之间存在极微弱的作用力，此时，微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变之间遵循虎克定律：F=-k*x ，其中，k为微悬臂的力常数。所以，只要测出微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。 

　　针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖与样品之间的作用力恒定，即保持为悬臂的形变量不变，针尖就会随样品表面的起伏上下移动，记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种工作模式被称为“恒力”模式，是使用最广泛的扫描方式。

　　AFM的图像也可以使用“恒高”模式来获得，也就是在X，Y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与样品之间的距离恒定，通过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方式不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏比较大的样品不适用。

　　以上内容就是对测量显微镜测量原理的介绍了，测量显微镜主要使用与电子工业、五金行业、以及一些精密工程，在塑胶行业和医疗业，生物物医学、公安系统等等有广泛的应用，特别是在电子工业比如观察电路板的构造，观察零件直接的精确距离，是不可缺少的精密仪器。