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电子显微镜的成像原理

2021-08-25(228)次浏览

  电子显微镜是以电子束为照明源,通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器,电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微...

  电子显微镜是以电子束为照明源,通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器,电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。那么电子显微镜的成像原理是怎样的呢?下面深视光谷小编来给大家介绍。

 

  电子显微镜的成像原理:

 

  1、吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。 

电子显微镜

  2、衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。

 

  3、相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。

 

  以上内容就是对电子显微镜的成像原理的介绍了,电子显微镜常用的有透射电镜和扫描电子显微镜,与光学显微镜相比电子显微镜用电子束代替了可见光,用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。通常情况下,电子显微镜放大倍数比光学显微镜高得多。

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